Приведены результаты исследований XeCl (λ ~ 308 нм), KrCl (λ ~ 222 нм) эксиламп, возбуждаемых емкостным и тлеющим высокочастотным разрядами, с целью получения высокого срока службы. Надежность эксиламп емкостного разряда детерминирована механизмом гетерофазной химической реакции взаимодействия атомарного хлора с кварцевой стенкой с образованием полимерных продуктов хлорсилоксанов. Созданы отпаянные эксилампы с временем жизни более 1000 ч.