Представлены результаты численного моделирования одного из наименее исследованных эксимерных лазеров – лазера на молекуле KrCl. Моделирование проводилось в 1D-приближении, где потоки лазерного излучения рассчитывались вдоль оптической оси между плоскопараллельными зеркалами, а система кинетических уравнений и уравнение Больцмана решались в каждом поперечном слое активной среды. Получено хорошее согласие теоретических данных с результатами работы KrCl-лазера серии EL. Численно показано влияние ширины разряда возбуждения на энергетические характеристики лазера. Предложенная модель и полученные оценки могут быть использованы как инструменты оптимизации начальных параметров при разработке более мощных лазерных установок.
электроразрядный KrCl-лазер, численное моделирование, функция распределения электронов по энергии, кинетическое уравнение Больцмана, оптимизация
1. McKee T.J., James D.J., Nip W.S., Weeks R.W., Willis C. Lifetime extension of XeCl and KrCl lasers with additives // Appl. Phys. Lett. 1980. V. 36. P. 943–945.
2. Ражев А.М., Жупиков А.А. Исследование влияния удельной мощности накачки на энергию излучения и КПД эксимерного газоразрядного KrCl-лазера (223 нм) // Квант. электрон. 2008. T. 38, № 11. С. 1005–1008.
3. Ражев A.M., Жупиков A.A., Каргапольцев E.С. Эксимерный KrCl-лазер (l = 223 нм) на смеси He–Kr–HCl // Квант. электрон. 2004. T. 34. С. 95–98.
4. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Эффективный электроразрядный KrCl-лазер «Фотон» // Квант. электрон. 1999. Т. 28. С. 136–138.
5. Armandillo E., Luches A., Nassisi V., Perrone M.R. Improved lasing performance of KrCl excimer laser // Appl. Phys. Lett. 1983. V. 42. P. 860–861.
6. Panchenko A.N., Tarasenko V.F. Maximum performance of discharge-pumped exciplex laser at l = 222 nm // IEEE J. Quantum Electron. 1995. V. 31, N 7. P. 1231–1236.
7. Rockwood S. Elastic and inelastic cross sections for electron-Hg scattering from Hg transport data // Phys. Rev. A. 1973. V. 8. P. 2348–2358.
8. Register D., Trajmar S., Steffensen G. Electron-impact-excitation cross sections for electronic levels in neon for incident energies between 25 and 100 eV// Phys. Rev. A. 1984. V. 29. P. 1793–1811.
9. Krishnakumar E., Srivastava S. Ionization cross sections of rare-gas atoms by electron impact // J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 1988. V. 21. P. 1055–1062.
10. Boffard J., Keeler M., Piech G., Anderson L., Lin C. Measurement of electron-impact excitation cross sections out of the neon 3P2 metastable level // Phys. Rev. A. 2001. V. 64. P. 032708.
11. Ton-That D., Flannery M. Cross sections for ionization of metastable rare-gas atoms (Ne*, Ar*, Kr*, Xe*) and of metastable N2*, CO* molecules by electron impact // Phys. Rev. A. 1977. V. 15. P. 517–526.
12. Chilton J., Stewart Jr.M., Lin C. Electron-impact excitation cross sections of neon // Phys. Rev. A. 2000. V. 61. P. 052708.
13. Rejoub R., Lindsay B., Stebbings R. Determination of the absolute partial and total cross sections for electron-impact ionization of the rare gases // Phys. Rev. A. 2002. V. 65. P. 042713.
14. Hyman H. Electron-impact excitation of metastable argon and krypton // Phys. Rev. A. 1978. V. 18. P. 441–447.
15. Hyman H. Electron-impact ionization cross sections for excited states of the rare gases (Ne, Ar, Kr, Xe), cadmium, and mercury // Phys. Rev. A. 1979. V. 20. P. 855–859.
16. Knoth G., Radle M., Gote M., Ehrardt H., Jung K. Near-threshold electron impact rovibrational excitation of HCl and HF // J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 1989. V. 22. P. 299–305.
17. Frost L., Phelps A. Momentum-transfer cross sections for slow electrons in He, Ar, Kr, and Xe from transport coefficients // Phys. Rev. A. 1964. V. 136. P. 1538.
18. Lowke J., Phelps A., Irwin B.J. Predicted electron transport coefficient of CO2–N2–He laser mixtures // Appl. Phys. 1973. V. 44. P. 4664 –4671.
19. Rapp D., Englander-Golden P.J. Total cross section from ionization and attachment in gases by electron impact. I. Positive ionization // Chem. Phys. 1965. V. 43. P. 1464–1479.
20. Fletcher C. Computational Galerkin Methods. New-York: Springer, 1984.
21. Bychkov Yu., Yampolskaya S., Yastremsky A. Two-dimensional simulation of the development of an inhomogeneous volume discharge in a Ne/Xe/HCL gas mixture // Plasm. Phys. Rep. 2013. V. 39. P. 374–386.
22. Boichenko A.M., Yakovlenko S.I. Simulation of KrCl (222 nm) and XeCl (308 nm) excimer lamps with Kr/HCl(Cl2) and Xe/HCl(C2) binary and Ne/Kr/Cl2 ternary mixtures excited by glow discharge // Laser Physics. 2004. V. 14, N 1. P. 1–14.
23. Chua L., Lin P.-M. Computer Aided Analysis of Electronic Circuits, Algorithms and Computational Techniques. Englewood Cliffs. NJ: Prentice-Hall, 1975.
24. Gear C. Numerical solution of ordinary differential equations: Is the anything left to do // SIAM Rev. 1981. V. 23. P. 10–24.