Проведен сравнительный анализ структурных характеристик и химического состава механически полированных поверхностей нелинейных кристаллов LiB3O5, β-BaB2O4 и CsB3O5 методами ДЭВЭО и РФЭС. Показано, что оптические поверхности данных кристаллов обычно покрыты слоем аморфизованного материала толщи-ной более 5 нм. Данный модифицированный слой может быть удален дополнительной механохимической обработкой без потери оптического качества, что сопровождается существенным повышением химической стабильности поверхности при контакте с атмосферой.