Приведены результаты экспериментального исследования источников рентгеновского излучения для предыонизации лазерной смеси в широкоапертурных электроразрядных эксимерных лазерах. Импульс рентгеновского излучения формировался в вакуумном диоде обращенного типа при торможении ускоренных электронов в танталовой фольге. Показано, что использование металлодиэлектрического катода позволяет полу-ать рентгеновское излучение с неоднородностью распределения интенсивности в пределах 10% при энергии квантов до 55 кэВ и экспозиционной дозе излучения до 160 мР.